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  • 质量流量控制器的优点和缺点

    质量流量控制器的优点和缺点

    质量流量控制器是一种可以控制气体质量并且测量液体的一种装置,由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量...查看更多>>

  • 分析质量流量控制器的应用领域

    分析质量流量控制器的应用领域

    质量流量控制器是一种可以控制气体质量并且测量液体的一种装置,由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。 分流器决定主通道的...查看更多>>

  • 简述气体质量流量控制器的使用

    简述气体质量流量控制器的使用

      热式气体质量流量控制器/质量流量计广泛应用于汽车电子、半导体、工业五金、医疗食品、航天航空、实验室、科研单位、计量测量、消防行业、环保行业、钢铁冶炼、工业气体、石油化工、医疗卫生、电子及微电子、太阳能光伏、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术行业和特殊领域。对于热式质量流量计的使用,相信很多人都是比较熟悉的了,它是一种比较常见的测量仪器,在很多地方都...查看更多>>

  • 气体气体质量流量控制器采用那种密封材料

    气体气体质量流量控制器采用那种密封材料

    通常气体气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属密封的MFC。 ...查看更多>>

  • 气体质量流量控制器的关键部分—气体质量流量传感器

    气体质量流量控制器的关键部分—气体质量流...

    气体质量流量传感器是沃威仪器气体质量流量控制器中关键部件,是利用热传递的量热原理,测量气体质量的流量。热绝缘膜片上的加热元件,其温度始终高于周围温度。当有气体流量流过时,温度场因流体介质带走热量导致气流上、下游产生温度之变化,这种非对称性检测和执行过程都在一个CMOS硅片上完成,集成在硅片上的温度传感器对此温度分布测量,通过校准,专门的信号处理电路和气体...查看更多>>

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