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解析气体质量流量控制器MFC和MFM的原理

解析气体质量流量控制器MFC和MFM的原理

发布日期:2019-08-16 作者:沃威 点击:


    质量流量控制器的概念,质量流量计,是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。质量流量控制器,不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC 自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。



    质量流量计,质量流量控制器的流量单位气体质量流量单位一般以SCCM和SLM来表示,亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是SCCM、SLM 不同于Ml/min、L/min 之处。如果需要单位时间内流过的质量(如g/min),可以查阅标准状态下的气体密度,然后作乘法就可以了。

气体质量流量控制器


    质量流量计/质量流量控制器的主要的优点一般直接测量气体的质量流量,热式质量流量计直接测量流体质量流量,输出质量流量信号,无需其他设备,如温度测试仪和压力表,也无需进行换算。无可移动部分本身无类似转轴等的移动部件,增加了本身的可靠性,无需机械维护。可以精确的测量微小流量,采用分流装置,又可以测量大流量,而且温度,压力范围很大。



    测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示,流量自动计量,数据自动记录,计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。


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