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气体质量流量控制器的基本知识

气体质量流量控制器的基本知识

发布日期:2019-07-29 作者:沃威 点击:


    气体质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精度地测量和控制,广泛用于分析测量仪器。其性能指标的好坏直接影响到气体流量控制精度和准确度,进而影响整机分析结果的准确性和可靠性。


气体质量流量控制器

    气体质量流量控制器的应该需要的主要特点:耐腐蚀材料,避免腐蚀性气体对流量计的侵蚀,超快速相应,相应速度小于100ms,内置温度补偿,流量控制更加精度,全密封气路系统,避免危险气体泄漏,多种电气接口,满足不同用户需求。



    气体质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精度地测量和控制,广泛用于分析测量仪器。其性能指标的好坏直接影响到气体流量控制精度和准确度,进而影响整机分析结果的准确性和可靠性。



    流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准,对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于气体质量流量控制器则一般可以忽略不计。



    气体质量流量控制器可以地控制气体的给定量,流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa;气体质量流量控制器可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品小流量范围可达0~5sccm,大流量范围可达0~200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为--50:1),因此在很多领域得到广泛应用。


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