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如何提高质量流量控制器技术的耐化学腐蚀性

如何提高质量流量控制器技术的耐化学腐蚀性

发布日期:2018-09-21 作者:沃威小编 点击:

   质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。


    质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。

质量流量控制器

    质量流量计和控制器被设计用于测量和控制各种气体和液体的流量。在许多应用中,弹性密封,如氟橡胶是“全能战士”,在使用时没有化学相容性问题。许多客户从来没有考虑过他们的弹性密封选择问题;但在很多的应用中气体或液体的化学性能是比较活跃的,并会出现与氟橡胶密封化学兼容性问题,如弹性体膨胀或弹性损坏。仪表弹性密封材质的选择必须具有在操作条件下的耐化学的性能。


    质量流量控制器中不小心渗入液体的原因有很多,例如:环境监测站要对各种天气条件下的空气质量进行监测,下雨、结霜、融雪都可能使水汽进质量流量控制器;燃料电池应用通过混合氧气与氢气来生成水,整个过程中极易引入水汽;用于气体喷射的液罐出现了回流。


    解决方案:采用沃威质量流量控制器后,如果设备内渗入了水汽,情况则不会那么糟。与热式原理不同,艾里卡特的质量流量计、质量流量控制器采用层流压差技术,依托专利的层流片结构将气体由湍流转为层流运动,通过测量层流片两端气体压力差的方法来测量流量。


本文网址:http://www.warwick-ins.net/news/442.html

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